绿碳化硅微粉切割硅晶片的特点:
1、粒度分布集中并且均匀。
2、高纯度、大结晶的绿碳化硅原材料,保证了绿碳化硅微粉的优良切割性能和稳定的物理状态。
3、粒度形状为等积而具刀锋,保证了绿碳化硅微粉作为切割刃料的均衡自锐性,从而保证被切割材料TTV的最小化。
4、有高的热震稳定性和荷重软化温度,这确保了在荷重切割时的小的线膨胀系数,从而保证切割的稳定性;并且能够和切割机有很好的适配性。
5、表面经过特殊处理,绿碳化硅微粉具备大的比表面积和清洁的外表,与聚乙二醇等切削液有很好的实配性。