工程陶瓷的表面处理用绿碳化硅微粉

1. 工程陶瓷表面处理中的核心用途

(1) 精密研磨

适用陶瓷类型：

氧化物陶瓷（如氧化铝Al₂O₃、氧化锆ZrO₂）

非氧化物陶瓷（如氮化硅Si₃N₄、碳化硅SiC本身）

复合陶瓷（如Al₂O₃-SiC复合材料）。

作用：

去除烧结后陶瓷表面的毛刺、凹凸不平层，达到近净尺寸。

绿碳化硅微粉（粒度通常为W40-W5）比白刚玉更硬，适合高硬度陶瓷的粗磨至半精磨。

(2) 超精密抛光

应用场景：

陶瓷轴承球、密封环、半导体陶瓷基片（如氮化铝AlN）的镜面抛光。

要求表面粗糙度达Ra≤0.01μm的高端部件。

工艺特点：

使用亚微米级绿碳化硅微粉（如W1.5-W0.5）搭配化学机械抛光（CMP）技术。

需控制微粉的粒径均匀性，避免划伤表面。

(3) 表面强化与改性

喷砂处理：

用绿碳化硅微粉对陶瓷表面进行喷砂，增加粗糙度，提升涂层附着力（如PVD/CVD镀膜前处理）。

激光辅助加工：

在激光加工中作为辅助磨料，减少热影响区裂纹。

2. 绿碳化硅微粉的技术优势

3. 典型工艺参数参考

研磨阶段：

粗磨：W40-W20微粉，水或油性冷却液，压力0.1-0.3MPa。

精磨：W10-W5微粉，配合金刚石研磨盘。

抛光阶段：

最终抛光：W1.5以下微粉+氧化铈（CeO₂）复合抛光液，转速50-200rpm。

4. 注意事项

杂质控制：高纯度（≥99.5%）绿碳化硅微粉需用于电子陶瓷，避免Fe、Al等杂质引入电学缺陷。

粒度匹配：陶瓷晶粒尺寸与磨料粒度需协调（如纳米晶陶瓷需纳米级SiC粉）。

环保要求：湿法研磨需处理废水中的SiC悬浮颗粒。

5. 应用案例

氮化硅轴承球：绿碳化硅微粉抛光后，表面粗糙度从Ra 0.1μm降至Ra 0.005μm，寿命提升30%。

氧化铝陶瓷基板：通过SiC喷砂处理，使金属化镀层结合强度提高50%。