高硬度(莫氏硬度9.2,仅次于金刚石和立方氮化硼):适合加工高硬度的光学玻璃(如K9、硼硅酸盐玻璃等)。
锋利的多角形颗粒:切削效率高,能实现快速去除材料并逐步细化表面。
化学稳定性:耐酸碱,在抛光过程中不易与玻璃或抛光液发生反应。
热导率高:有助于散热,减少抛光过程中的热变形。
粗抛阶段:使用较粗粒径(如W20-W40,约20-40μm)的绿碳化硅微粉,快速去除玻璃表面的加工痕迹。
精抛阶段:采用更细的粒径(如W5-W10,约5-10μm)进一步降低表面粗糙度,为后续超精抛(如氧化铈抛光)做准备。
适用玻璃类型:常用于普通光学玻璃、滤光片、棱镜等,但对超低膨胀玻璃(如石英玻璃)可能需结合其他磨料。
粒径分布:需严格控制(如符合FEPA或JIS标准),避免大颗粒划伤表面。
悬浮性:需与抛光液(如水或油基)良好混合,保持均匀的磨料分布。
纯度:高纯度(≥99%)绿碳化硅可减少杂质导致的划痕。
抛光压力与速度:需根据玻璃硬度和磨料浓度调整,避免压力过大导致亚表面损伤。
冷却与清洁:及时清除抛光碎屑,防止二次划伤。
后续处理:绿碳化硅抛光后通常需切换至更软的磨料(如氧化铈)进行最终抛光。
** vs 金刚石微粉**:
金刚石硬度更高,但成本昂贵,多用于超硬材料(如红外光学晶体)。
绿碳化硅性价比更高,适合大部分光学玻璃。
** vs 氧化铈**:
氧化铈化学机械抛光(CMP)效果更细腻,但切削率低,常作为绿碳化硅后的精抛步骤。